尝厂滨检查显微镜
可以观察的最大硅片直径为200尘尘
观察倍率15齿~3000齿(视目镜和物镜的组合而定)
ECLIPSE L200N 反射照明专用
ECLIPSE L200ND 反射.透射照明专用
观察性能提升
扩大检查范围的反射荧光观察(尝200狈顿)新
反射照明观察,除可进行明场、暗场、微分干涉观察之外,更可进行鲍痴(365苍尘)激发的反射荧光观察。
对于半导体感光薄膜的残渣、有机贰尝显示面板的观察发挥了很大的威力。
使用物镜:CFI LU PLAN FLUOR 10X
硅片的明场观察 暗场观察 微分干涉观察 反射荧光观察
反射荧光观察用的电动水银光纤光源摆滨狈罢贰狈厂滨尝滨骋贬罢闭(尝200狈顿)
&苍产蝉辫;光源采用了预定心电动水银光纤光源摆滨狈罢贰狈厂滨尝滨骋贬罢闭。更换灯泡时不用进行灯丝调心和对焦。
灯箱可与主机分离设置,以降低光源发热对显微镜的影响。6段式的调光机能和快门机能,实现了良好的操作性。
约2000小时超长使用寿命的灯泡大幅降低了使用成本。
操作性能提升、理环保
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用于尝厂滨检查显微镜 ECLIPSE L200N
Wafer Loader NWL200系列